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靶磁控濺射儀六大常見問題點(diǎn)及解決對(duì)策

更新時(shí)間:2021-03-23      點(diǎn)擊次數(shù):2778
  靶磁控濺射儀在真空狀態(tài)下采用電弧放電和輝光放電工作原理,金屬和非金屬工件的表面鍍有金氮化鈦,黑碳化鈦,彩色氮氧化鈦等,也可以涂防腐膜(如AL,Cr不銹鋼和TiN等)和耐磨膜,膜層牢固地結(jié)合到基板上。濺射工藝用于涂覆以改善膜的粘附性,可重復(fù)性,密度和均勻性度等特點(diǎn),適用于塑料制品,陶瓷,樹脂,水晶玻璃制品,工藝品,塑料手機(jī)殼,電子產(chǎn)品,建材等行業(yè),具有良好的發(fā)展前景。
  靶磁控濺射儀處理六個(gè)常見問題及改進(jìn)對(duì)策:
  1、漆膜為黑色和黑色
 ?。?)真空度小于0.67Pa。真空度應(yīng)提高到0.13-0.4Pa。
 ?。?)氬氣的純度小于99.9%。應(yīng)該用純度為99.99%的氬氣代替。
 ?。?)充氣系統(tǒng)正在泄漏。應(yīng)檢查充氣系統(tǒng)以消除空氣泄漏。
 ?。?)底漆未充分固化。底漆的固化時(shí)間應(yīng)適當(dāng)延長(zhǎng)。
 ?。?)鍍層零件的脫氣量太大。應(yīng)當(dāng)進(jìn)行干燥和密封處理。
  2、膜層的表面光澤較暗
 ?。?)底漆固化不良或變質(zhì)。底漆的固化時(shí)間應(yīng)適當(dāng)延長(zhǎng)或應(yīng)更換底漆。
  (2)濺射時(shí)間過長(zhǎng)。應(yīng)適當(dāng)縮短。
  (3)濺射成膜速度過快。濺射電流或?yàn)R射電壓應(yīng)適當(dāng)降低
  3、薄膜顏色不均勻
 ?。?)底漆噴涂不均勻。底漆的使用方法應(yīng)加以改進(jìn)。
  (2)薄膜層太薄。適當(dāng)?shù)卦黾訛R射速度或延長(zhǎng)濺射時(shí)間。
  (3)燈具設(shè)計(jì)不合理。夾具設(shè)計(jì)應(yīng)加以改進(jìn)。
  (4)電鍍零件的幾何形狀太復(fù)雜。鍍層零件的旋轉(zhuǎn)速度應(yīng)適當(dāng)提高。
  4、薄膜起皺并破裂
 ?。?)底漆噴涂得太厚。應(yīng)控制在7-10tan厚度范圍內(nèi)。
 ?。?)涂料的粘度太高。應(yīng)適當(dāng)減少。
 ?。?)蒸發(fā)速度太快。應(yīng)該適當(dāng)放慢速度。
 ?。?)膜層太厚。濺射時(shí)間應(yīng)適當(dāng)縮短。
 ?。?)鍍層部分的溫度太高。鍍層部件的加熱時(shí)間應(yīng)適當(dāng)縮短。
  5、薄膜表面上有水印,指印和灰塵顆粒。
 ?。?)清潔后,鍍層部件不帶電。應(yīng)加強(qiáng)鍍前處理。
  (2)水滴或唾液濺到電鍍部件的表面。要加強(qiáng)文明生產(chǎn),操作人員要戴口罩。
 ?。?)涂上底漆后,用手觸摸鍍層部分,在表面上留下指紋。嚴(yán)禁用手觸摸鍍層部件的表面。
  (4)油漆中有顆粒。油漆應(yīng)過濾或更換。
 ?。?)靜電除塵器發(fā)生故障,或者在噴涂和固化環(huán)境中出現(xiàn)顆?;覊m。應(yīng)更換集塵器,并保持工作環(huán)境清潔
  6、靶磁控濺射儀膜的附著力差
  (1)鍍層零件的脫脂和脫脂未完成。應(yīng)加強(qiáng)鍍前處理。
  (2)真空室不干凈。應(yīng)當(dāng)清潔真空室。值得注意的是,在裝卸靶材過程中,嚴(yán)禁用手或不潔物體接觸磁控管源,以確保磁控管源具有較高的清潔度,這對(duì)于提高結(jié)合力非常重要。電影的措施之一。
 ?。?)夾具不干凈。夾具應(yīng)清潔。
  (4)底漆選擇不當(dāng)。應(yīng)更換油漆。
 ?。?)濺射工藝條件控制不當(dāng)。濺射工藝條件應(yīng)改善。

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