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雙管滑動(dòng)快速加熱冷卻爐--OTF-1200X-4-C4LVS

簡要描述：OTF-1200X-4-C4LVS 雙管爐是 一個(gè)特殊的雙管CVD系統(tǒng),是專門為在金屬箔上生長薄膜而設(shè)計(jì),特別是應(yīng)用在新一代能源關(guān)于柔性金屬箔電極方面的研究，通過滑動(dòng)爐子實(shí)現(xiàn)快速加熱和冷卻。請(qǐng)點(diǎn)擊下圖觀看爐子的工作原理。

  • 產(chǎn)品型號(hào)：
  • 廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間：2024-09-06
  • 訪  問  量：2146

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詳細(xì)介紹

   OTF-1200X-4-C4LVS 雙管爐是 一個(gè)特殊的雙管CVD系統(tǒng),是專門為在金屬箔上生長薄膜而設(shè)計(jì),特別是應(yīng)用在新一代能源關(guān)于柔性金屬箔電極方面的研究，通過滑動(dòng)爐子實(shí)現(xiàn)快速加熱和冷卻。請(qǐng)點(diǎn)擊下圖觀看爐子的工作原理。

 

特點(diǎn):   

1.雙石英管：外管直徑100mm ，懸掛的內(nèi)管直徑 80. 金屬箔纏繞在內(nèi)管的外表面上發(fā)生CVD反應(yīng)。
2.雙管的真空密封法蘭：允許反應(yīng)氣體通過兩管之間（10mm間隙）發(fā)生反應(yīng)，冷卻氣體直接通入內(nèi)管.
3.四通道質(zhì)量流量計(jì)控制4路氣體。
4.配有KF25快接和波紋管的高速機(jī)械泵。

5.爐子底部裝有滑軌：爐子可以從一端滑向另一端，從而實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫.

技術(shù)參數(shù)

爐體結(jié)構(gòu)
  • 高純 Al2O3保溫材料，保證了爐膛有*的溫度均勻性.
  • 內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的1750度高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時(shí)也可以延長儀器的使用壽命
  • 爐子底部的冷卻風(fēng)扇保證了熱量正常對(duì)外釋放.
  • 密封法蘭系統(tǒng)全不銹鋼制作。
電源電源:208-240VAC,  50/60Hz, 單相,  2.5KW ( 20A 保險(xiǎn)絲)
加熱溫度
  • zui高溫度: 1100°C
  • 連續(xù)溫度: 1000°C
加熱區(qū)
  • 加熱區(qū)長度: 440mm
  • 恒溫區(qū)長度: 120mm (±1°C) @400~1100°C
  • 選擇:   
  • 雙溫區(qū)爐可獲得t 240mm 的恒溫區(qū)

 

加熱和冷卻速度zui快的加熱和冷卻速度跟工作溫度有關(guān)，  請(qǐng)點(diǎn)擊下圖看出zui快的加熱和冷卻速度隨溫度的變化而變化。
( 在使用爐子之前，要校準(zhǔn)工作溫度和加熱、冷卻速度 )
 
click to enlarge
加熱冷卻
石英管外管:     OD: 4"x ID: 3.8"X55" Length        (OD100 x ID 96 x 1400, mm )
內(nèi)管:        OD:3.15: x ID x 2.95" x 55" Length  (OD80 x ID 75 x 1800 mm )
真空法蘭
  • 一對(duì) SS304不銹鋼法蘭，通過用兩個(gè)高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空。
  • 爐子底部裝有一對(duì)滑軌
  • 爐子可以手動(dòng)從一端滑向另一端，實(shí)現(xiàn)快速的加熱和冷卻。
  • 為了得到較快的加熱速度，可以先將爐子預(yù)熱，然后滑到放置樣品的位置。
  • 為了獲得較快的冷卻的速度，把爐子滑向另一端，同時(shí)將冷卻氣體通入 樣品所在的位置。
左法蘭(點(diǎn)擊放大)右法蘭 (點(diǎn)擊方大)
    
極限真空度: 10^-2 torr (機(jī)械泵)
                   10^-5 torr (分子泵)
可選本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)，其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。（點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)介紹）
溫控儀溫控儀:帶超溫保護(hù)和PID調(diào)節(jié)的 30 段程序控制。 控溫儀表操作視頻
控溫精度: +/-1°C
混氣系統(tǒng)4路精密質(zhì)子流量計(jì)：數(shù)字顯示、氣體流量自動(dòng)控制.
  • MFC 1范圍:  0~100 sccm
  • MFC 2范圍:  0~200 sccm
  • MFC 3范圍:  0~200 sccm
  • MFC 4范圍:  0~500 sccm
  • 氣路: 4 路
     
  • 流量精度: 0.2%
     
  • 進(jìn)氣和出氣接口: 1/4" 卡套
     
  • 一個(gè)混氣罐.
     
  • 每路氣路都有一個(gè)獨(dú)立的不銹鋼針閥控制。  
     
  • 通過控制面板上的旋鈕來調(diào)節(jié)氣體流量. 請(qǐng)看下圖
     
  • MFC 面板(點(diǎn)擊放大)
真空泵
  • 安裝在移動(dòng)架底部的機(jī)械泵，真空度達(dá) 10-3 Torr. 
  • 真空泵與手動(dòng)擋板閥之間用KF25 快接與不銹鋼波紋管連接 . 
  • 數(shù)字真空表安裝在一端的法蘭上.

    選擇:     可以配分子泵，真空度達(dá) 10-5 Torr     
作為基片用的25um厚的銅箔 
(選配）		生長石墨烯的銅箔 (150m length x 150mm width x 25um thickness)
尺寸（mm)爐體: 550 x 380 x 520
移動(dòng)架: 600x600x597
凈重300 lb
保修期一年質(zhì)保期 (耗材：如爐管，“O”型圈，和加熱元件等不在保修范圍內(nèi)）
認(rèn)證  CE 認(rèn)證
 
國家

名稱：一種快速高溫退火爐

編號(hào)：ZL-2011-2-0077168.4

尊重創(chuàng)新、鄙視抄襲、侵權(quán)必究。

快速加熱冷卻的雙管CVD爐--操作視頻

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