輸入電源

208 V- 240VAC, 50/60 Hz, < 1000W

RF發(fā)生器

• 輸出頻率：20-23kHz , 25KV
• 等離子槍頭：儀器中包括兩種等離子槍頭：圓形頭：10-12mm，矩形頭：15-18mm

輸入氣體氣壓，工作氣體

• 40 PSI min.(0.055 Mpa)
• Air, N2, Ar, He 或混合氣體(不可通入易燃易爆氣體 )

等離子體工作壓力

7- 10 PSI

工作環(huán)境

溫度 < 42°C，濕度 ≤ 40℃RH

樣品臺(tái)和控制柜

• 配有可在X-Y軸移動(dòng)的樣品臺(tái)，通過(guò)步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，采用SBC控制盒控制
• 可手動(dòng)調(diào)節(jié)樣品臺(tái)在Z軸方向上的移動(dòng)距離
• 控制盒采用LCD顯示，可設(shè)置其等離子槍頭的掃描程序。
• zui大掃描范圍：8" x 9"
• 一個(gè)直徑為4"的真空吸盤安裝在X-Y樣品臺(tái)上，可吸住直徑為6"的樣品。
• 配有一真空泵，可與真空吸盤相連接
• 整個(gè)系統(tǒng)安裝在一移動(dòng)架上（600x600x 800Lmm）
• 可選：可選加熱樣品臺(tái)（zui高溫度可加熱到500℃),也可將設(shè)備放置在手套箱中操作。
    

尺寸&重量

• 處理樣品臺(tái)尺寸：560mm L x483mm W x 609mm H
• 等離子源尺寸: 406mm L x 508mm W x 230mm H
• 控制盒尺寸：330mm L x 305mm W x 152mm H
• 重量：55kg

質(zhì)保&質(zhì)量認(rèn)證

一年質(zhì)保期，終生維護(hù)

CE認(rèn)證