加熱型紫外臭氧清洗機(jī)

簡要描述：PCE-22是一款可加熱型的紫外臭氧清洗機(jī)，其加熱溫度可達(dá)150℃。此款設(shè)備可用于清洗各種基片，為制作高質(zhì)量的薄膜打好基礎(chǔ)。特別適合移除光刻膠，改善表面潤濕性，清洗SEM &TEM，紫外對聚合物改性等。
紫外臭氧清洗提供了一種無酸、干燥對材料無損傷的原子級別的清洗手段，特別適合清除一些有機(jī)化合物。紫外燈主要發(fā)出兩種波長的光：185nm和254nm。其中185nm的光可把空氣中的氧氣變?yōu)槌粞?

產(chǎn)品型號：PCE-22
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時間：2025-02-11
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PCE-22是一款可加熱型的紫外臭氧清洗機(jī)，其加熱溫度可達(dá)150℃。此款設(shè)備可用于清洗各種基片，為制作高質(zhì)量的薄膜打好基礎(chǔ)。特別適合移除光刻膠，改善表面潤濕性，清洗SEM &TEM，紫外對聚合物改性等。
紫外臭氧清洗提供了一種無酸、干燥對材料無損傷的原子級別的清洗手段，特別適合清除一些有機(jī)化合物。紫外燈主要發(fā)出兩種波長的光：185nm和254nm。其中185nm的光可把空氣中的氧氣變?yōu)槌粞酰?54nm可以破壞化合物中的鍵（特別是碳碳鍵）。所以這兩種波長的光組合可有效地清除有機(jī)化合物。

技術(shù)參數(shù)

電源	AC 208~240V，單相 50/60Hz
紫外燈	可發(fā)出雙波長的水銀燈功率：55W 發(fā)出光的波長：254 nm 和 185 nm 使用壽命：2500 小時（可在本公司購買紫外燈來更換）照射區(qū)域：200 x 200 mm
腔體&樣品臺	不銹鋼殼體抽屜式樣品臺，以便放樣取樣樣品臺面積310 mm x 320 mm 臭氧通風(fēng)裝置安裝在腔體上樣品臺與紫外燈的距離：20mm -40mm（可調(diào)）樣品臺可以加熱，zui高溫度可達(dá)150℃ 可設(shè)置20段升降溫程序，控溫精度為+/-1℃ 設(shè)備運(yùn)行時間：0.01 秒- 99.9小時
排氣口	直徑為80mm的排氣口安裝在儀器后端請將橡膠管與排氣口連接，將臭氧排出到實(shí)驗(yàn)室外儀器中不包含橡膠管
外形尺寸	510mm x 350mm x 400mm (W x H x D)
凈重	28kg
質(zhì)保期	一年質(zhì)保期，終生維護(hù)（不包含紫外燈）
應(yīng)用	去除分子級別的污染物紫外光固化粘合劑紫外光催化氧化PDMS 表面消毒刻蝕清洗MEMS 器件清洗各種基片，如Si, Ge, GaAs和各種氧化物單晶基片