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OTF-1200X-5L-R-CVD是一款旋轉(zhuǎn)CVD爐。爐體有3個加熱區(qū),可提高溫度均勻性,同時配有4通道的精密混氣系統(tǒng)。此款管式爐設(shè)計(jì)主要用于電池粉體材料表面包覆或其他粉體材料表面修飾。設(shè)備相關(guān)論文(點(diǎn)擊查看)
OTF-1200X-4-R-II-AF是一款4英寸雙溫區(qū)回轉(zhuǎn)CVD管,安裝有自動送料器和收料罐。自動可定份額地將粉料送入到爐管中,此過程可在氣氛保護(hù)環(huán)境下進(jìn)行,可實(shí)現(xiàn)用連續(xù)CVD方法對粉體材料進(jìn)行包覆和修飾。收料罐可在氣氛保護(hù)環(huán)境下對處理好的粉料進(jìn)行收集。此款管式爐設(shè)計(jì)主要是在鋰離子電池的陰極材料(如LiFePO3, LiMnNiO3)上包覆導(dǎo)電層,同時也可用CVD方式制備 Si/C 陽極材料。
OTF-1200X-S2-50SL是一款小型的雙爐體滑動管式爐,爐管為Φ50×1400mm的石英管,并配有不銹鋼密封法蘭,儀器Z高溫度可以達(dá)到1200℃。兩個爐體可在滑軌上滑動,實(shí)現(xiàn)對原材料的蒸發(fā)/升華,及薄膜沉積。通過爐體的滑動可實(shí)現(xiàn)對樣品快速加熱,Z大升溫速率為100℃/min.同時可選擇電動滑軌、質(zhì)量流量計(jì)(MFC)控制的供氣系統(tǒng)和等離子射頻電源來搭建TCVD系統(tǒng)。
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