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高真空腔體--HVC-SS

簡(jiǎn)要描述:本公司提供高真空腔體,客戶可自行為一些實(shí)驗(yàn)搭建真空系統(tǒng),如等離子濺射,CVD或ALD等實(shí)驗(yàn),同時(shí)也可作為高真空儲(chǔ)存箱。

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2024-09-05
  • 訪  問  量:3173

詳細(xì)介紹

  本公司提供高真空腔體,客戶可自行為一些實(shí)驗(yàn)搭建真空系統(tǒng),如等離子濺射,CVDALD等實(shí)驗(yàn),同時(shí)也可作為高真空儲(chǔ)存箱。

 技術(shù)參數(shù)

腔體

  • 真空腔體是采用304不銹鋼制作
  • 內(nèi)部尺寸為:372mm(L) x 420mm(W) x 480mm(H) 
  • 真空腔體前部安裝有一個(gè)直徑為350mm的門,而且門上面有一個(gè)直徑為150mm的玻璃窗口
  • 門部位采用硅膠密封圈密封
  • 真空度可達(dá)到1×10-6 torr
  • 內(nèi)部加熱平臺(tái)的溫度可達(dá)到150

接口

  • 腔體后端有一個(gè)KF40接口,用于連接真空泵
  • 頂部有一1/4 NPS 
  • 頂板可以進(jìn)行打孔和改造,以便于安裝各種接口和接頭
  • 客戶可在本公司購買快速真空接頭

可選

  • 本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì),不需因測(cè)量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換(請(qǐng)點(diǎn)擊圖片查看詳情)
  • 分子泵系統(tǒng)
外形尺寸

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期,終身維護(hù)

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