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多功能試樣表面處理機(jī)

簡(jiǎn)要描述:多功能試樣表面處理機(jī)是為掃描電鏡和電子揉針等進(jìn)行試驗(yàn)制備的設(shè)備,可進(jìn)行真空蒸碳、真空鍍膜和離子濺射,它也可以在高純氫氣保護(hù)下進(jìn)行等離子處理。對(duì)于實(shí)驗(yàn)室此款設(shè)備是*的鍍膜設(shè)備。

  • 產(chǎn)品型號(hào):GSL-1800X-SBC2
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2024-09-06
  • 訪  問(wèn)  量:3157

詳細(xì)介紹

多功能試樣表面處理機(jī)是為掃描電鏡和電子揉針等進(jìn)行試驗(yàn)制備的設(shè)備,可進(jìn)行真空蒸碳、真空鍍膜和離子濺射,它也可以在高純氫氣保護(hù)下進(jìn)行等離子處理。對(duì)于實(shí)驗(yàn)室此款設(shè)備是*的鍍膜設(shè)備。

技術(shù)參數(shù)

輸入電源

208 - 240VAC  , 10A , 50/60 Hz, 單相

功率

< 2000W  (包括真空泵)

輸出電壓 (DC)

  • AC10V  zui大電流 100A (對(duì)于真空鍍膜)
  • DC 3KV, 10mA   (對(duì)于等離子濺射)

真空腔體

 

有一玻璃鐘罩:250mm dia. x 340mm

(2)玻璃處理室:

  • 玻璃罩 A:內(nèi)徑88mm×高度140mm(用于真空鍍膜)
  • 玻璃罩 B:內(nèi)徑88mm×高度57mm(用于等離子濺射)


鍍膜裝置

 


 

對(duì)于制膜,儀器可設(shè)置三種模式:

(1)一種模式專門針對(duì)于蒸發(fā)鍍膜(下方左圖)

  • 此儀器可以同時(shí)蒸鍍兩種材料,其zui高溫度可以達(dá)到1800℃
  • 采用鎢絲進(jìn)行加熱

(2)蒸碳鍍膜模式(下方中圖)

儀器中包括有兩組碳棒

(3)直流等離子濺射模式(下方右圖)儀器中包含有一金靶(38mm Dia x 0.2 mm t)

  • 可在本公司選購(gòu)其他材質(zhì)靶材( 請(qǐng)點(diǎn)擊查看 )
  •      

    Thermal Evaporation  Carbon coating   Plasma sputtering

樣品臺(tái)

  • 樣品臺(tái)可以自動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)(見(jiàn)做圖)
  • 樣品臺(tái)尺寸:40mm
  • 儀器上安裝有一電動(dòng)快門用于控制蒸鍍的開始與停止(見(jiàn)右圖)  


真空泵

  • 儀器下端安裝有一機(jī)械泵和分子泵
  • 抽速:600L/S
  • 真空度:  10-6 torr
  • 設(shè)備工作環(huán)境溫度:< 32°C

控制面板

在控制面板上可以選擇鍍膜模式,調(diào)節(jié)濺射電流和蒸發(fā)功率

外型尺寸

L800mm× W560mm× H1340mm

凈重

150 kg

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期,終身維護(hù)

質(zhì)量認(rèn)證

CE certified

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